Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок Автор(ы): Берлин Е. В. Двинин С. А. Сейдман Л. А.  Год издания: 2007  Издательство: Техносфера  Количество страниц: 176  ISBN: 978-5-94836-134-5  Язык: русский  Скачать книгу

В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения. Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.