Кремний - материал наноэлектроники

Кремний - материал наноэлектроники Автор(ы): Герасименко Н. Н. Пархоменко Ю. Н.   Год издания: 2007  Издательство: Техносфера  Количество страниц: 352  ISBN: 5-94836-101-2, 978-5-94836-101-7  Язык: русский  Скачать книгу

Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.