Физические основы микроэлектроники

Физические основы микроэлектроники Автор(ы): Марголин В. И.   Год издания: 2008  Издательство: Академия  Количество страниц: 400  ISBN: 978-5-7695-4227-5  Язык: русский  Скачать книгу

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.